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OSAKA渦輪分子泵TG-F系列

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 更新時(shí)間:2025-01-07

簡(jiǎn)要描述:OSAKA渦輪分子泵TG-F系列由多層轉(zhuǎn)子葉片和定子葉片組成。 下圖所示的是葉片的角度以及旋轉(zhuǎn)方向的關(guān)系 氣體分子從高真空側(cè)進(jìn)入泵內(nèi),附著于轉(zhuǎn)子葉片后將按照麥克斯韋分布朝不同方向脫離。 然而,由于葉片的傾斜角度和旋轉(zhuǎn),分子飛入下一層,并且容易穿過定子葉片再向下。 同時(shí),從下層飛入并通過固定葉片后逆行的氣體分子,也能通過與轉(zhuǎn)子葉片碰撞再次飛到下一層。

產(chǎn)品詳情

OSAKA渦輪分子泵TG-F系列由多層轉(zhuǎn)子葉片和定子葉片組成。 下圖所示的是葉片的角度以及旋轉(zhuǎn)方向的關(guān)系 氣體分子從高真空側(cè)進(jìn)入泵內(nèi),附著于轉(zhuǎn)子葉片后將按照麥克斯韋分布朝不同方向脫離。 然而,由于葉片的傾斜角度和旋轉(zhuǎn),分子飛入下一層,并且容易穿過定子葉片再向下。


渦輪分子泵(復(fù)合分子泵)的排氣原理:

渦輪分子泵由多層轉(zhuǎn)子葉片和定子葉片組成。 下圖所示的是葉片的角度以及旋轉(zhuǎn)方向的關(guān)系 氣體分子從高真空側(cè)進(jìn)入泵內(nèi),附著于轉(zhuǎn)子葉片后將按照麥克斯韋分布朝不同方向脫離。 然而,由于葉片的傾斜角度和旋轉(zhuǎn),分子飛入下一層,并且容易穿過定子葉片再向下。 同時(shí),從下層飛入并通過固定葉片后逆行的氣體分子,也能通過與轉(zhuǎn)子葉片碰撞再次飛到下一層。 葉片的角度是,上層的氣體分子容易通過(排氣方向的流向和逆流的差較大)的角度,而下層的氣體分子不容易逆行的(排氣方向的流向和逆流的比較大)角度。 在分子流域,渦輪分子泵是通過該轉(zhuǎn)子葉片和定子葉片發(fā)揮基本性能。

本公司在轉(zhuǎn)子葉片和定子葉片組合基礎(chǔ)上增加了“螺紋槽"構(gòu)造。被壓縮到圓筒狀的旋轉(zhuǎn)部(轉(zhuǎn)子)的壁面的氣體分子,最終沿著固定部分(定子)的螺紋槽,移到泵的排氣口一側(cè)。 由于螺紋槽的作用,渦輪分子泵(復(fù)合分子泵)不僅在分子流域,在粘滯流也能排氣,尤其在粘滯流時(shí)可以大流量排氣。 因此,渦輪分子泵的適用壓力范圍被擴(kuò)展,得到了很多用途的廣泛應(yīng)用。此外,由于可以在高背壓下運(yùn)轉(zhuǎn),也有可能使用更小的、壓力更高的輔助泵。


無油的超真空環(huán)境

?機(jī)械式的氣體分子排氣(動(dòng)態(tài)排氣),對(duì)所有的氣體的排氣速度大致相同

?可排稀有氣體和腐蝕性氣體

?可連續(xù)排大流量氣體

?可工作的壓力范圍寬。 (~10-10Pa).


OSAKA渦輪分子泵TG-F系列使用了脂潤滑陶瓷軸承,實(shí)現(xiàn)了小型、輕量、低成本。 耐外部震動(dòng),耐沖擊能力強(qiáng),可以把分子泵搭載到可搬式設(shè)備或設(shè)備的可動(dòng)部,拓展了渦輪分子泵的新應(yīng)用。提供排氣速度50L/s ~ 2400L/s的產(chǎn)品。


  • 多方位安裝

  • 輕巧設(shè)計(jì)

  • 節(jié)能

  • 迅速啟動(dòng)

  • 使用破控功能可迅速停止

  • 耐大氣沖擊能力強(qiáng)

  • 多種通信模式

  • 符合安全規(guī)格NRTL/SEMI-S2/CE




    產(chǎn)品規(guī)格:

    OSAKA渦輪分子泵TG-F系列

    產(chǎn)品尺寸圖:

    OSAKA渦輪分子泵TG-F系列



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